在集成電路(IC)制造領域,良率是決定企業競爭力的核心命脈。面對日益復雜的工藝節點與海量數據挑戰,傳統的良率管理方法已顯乏力。東方晶源憑借深厚的技術積累與行業洞察,正式推出全新升級的YieldBook 3.0平臺。它并非簡單的版本迭代,而是通過深度融合三大核心系統,構建起一個“Buff疊滿”的智能化、集成化良率管理解決方案,為芯片制造企業提供前所未有的信息系統集成服務,賦能產業向更高效、更精準的未來邁進。
一、 核心驅動力:三大系統深度協同,構建良率管理“鐵三角”
YieldBook 3.0的強大之處,在于其底層并非單一工具,而是由三大既獨立又深度融合的系統有機組成,共同構成了賦能良率提升的堅實基座。
- 先進制程良率分析與管理系統:這是平臺的數據處理與決策中樞。它能夠高效整合來自生產線各個角落的龐雜數據,包括晶圓檢測(Inspection)、量測(Metrology)、缺陷復查(Defect Review)以及電性測試(E-Test)結果。通過內置的先進算法與機器學習模型,系統能自動進行根因分析(RCA),快速定位影響良率的關鍵缺陷圖案或工藝步驟,將數據轉化為切實可行的工程洞見,極大縮短了問題排查周期。
- 計算光刻與工藝優化系統:該體系將設計、光刻與制造工藝緊密連接。它通過高精度的計算光刻(Computational Lithography)仿真,在設計階段即預測并優化可能出現的制造缺陷,實現“設計即良率”(Design for Yield)。它能對工藝窗口進行建模與優化,幫助工程師找到最佳工藝參數組合,從源頭提升工藝穩定性和產品良率,是推動制程向前沿節點邁進的關鍵技術支撐。
- 智能缺陷檢測與分類系統:在制造過程中,實時、準確地發現并分類缺陷至關重要。該系統集成了先進的機器視覺與人工智能技術,能夠對檢測設備捕獲的海量圖像進行高速、高精度的自動化缺陷識別與分類(ADC)。它不僅大幅提升了檢測效率,降低了人工誤判,更能通過對缺陷特征的深度學習,建立缺陷與工藝參數的關聯模型,為前兩大系統的分析提供高質量、高價值的輸入數據。
二、 “Buff疊滿”:集成服務帶來的乘數效應
YieldBook 3.0的“Buff疊滿”,正體現在這三大系統不再是信息孤島,而是通過統一的數據平臺和智能工作流實現了無縫集成與協同增效。
- 數據流無縫貫通:從缺陷檢測發現異常,到分類系統精準定性,再到良率分析系統追溯根源并與光刻仿真系統聯動模擬優化方案,數據在整個平臺內閉環流動,打破了部門墻與工具墻。
- 知識持續沉淀:所有分析過程、解決方案和結果都被系統記錄并轉化為結構化知識。隨著時間推移,平臺將積累成為企業獨有的“良率提升知識庫”,賦能工程師團隊,實現經驗的代際傳承與快速復用。
- 決策智能前瞻:基于集成的多維度數據與AI模型,平臺能夠提供從實時監控、預警到預測性維護、工藝優化的全方位決策支持,使良率管理從事后補救轉向事前預防與事中調控。
三、 賦能集成電路制造:信息系統集成服務的價值升華
東方晶源通過YieldBook 3.0,提供的遠不止一套軟件工具,而是一整套覆蓋全流程的信息系統集成服務。這體現在:
- 定制化集成方案:深入客戶工廠,根據其特定的產線配置、工藝路線和數據環境,量身打造系統集成方案,確保YieldBook 3.0與現有制造執行系統(MES)、設備自動化方案(EAP)等無縫對接。
- 全生命周期服務:從部署實施、數據遷移、人員培訓到后期的持續優化與技術支持,提供貫穿始終的專業服務,確保客戶能夠最大化利用平臺價值。
- 打造數字孿生:通過集成與整合,平臺助力客戶構建起晶圓制造過程的“數字孿生”,在虛擬世界中映射、分析和優化實體生產,成為實現智能制造和工業4.0的堅實數據基座。
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在摩爾定律持續推進、產業競爭白熱化的今天,良率管理的數字化、智能化轉型已不是選擇題,而是生存題。東方晶源YieldBook 3.0以其“三大系統”為內核,以深度“信息系統集成服務”為外延,成功構建了一個賦能集成電路良率管理的強大生態系統。它為芯片制造企業疊加上數據驅動、智能分析與協同優化的多重“增益狀態”,正助力中國乃至全球的集成電路產業,在追求更高良率、更優品質、更強競爭力的道路上,行穩致遠。